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【簡(jiǎn)介】
給出了一種厚膜氧化多孔硅(OPS)層上制作Cu電感的新型工藝技術(shù)。由于OPS是一種低損耗的材料，銅的電阻率很低，采用OPS隔離硅襯底和Cu線圈能夠降低電感的寄生損耗，提高電感Q值。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中將孔隙度>56％的多孔硅厚膜利用兩步氧化法氧化為oPs厚膜，通過(guò)種子層濺射／光刻／電鍍Cu／刻蝕種子層的方法完成了Cu線圈的電鍍。獲得了1nH的電感，其Q值在10GHz的頻率下達(dá)到了9，電感的自諧振頻率超過(guò)20GHz。
【簡(jiǎn)介】
給出了一種厚膜氧化多孔硅(OPS)層上制作Cu電感的新型工藝技術(shù)。由于OPS是一種低損耗的材料，銅的電阻率很低，采用OPS隔離硅襯底和Cu線圈能夠降低電感的寄生損耗，提高電感Q值。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中將孔隙度>56％的多孔硅厚膜利用兩步氧化法氧化為oPs厚膜，通過(guò)種子層濺射／光刻／電鍍Cu／刻蝕種子層的方法完成了Cu線圈的電鍍。獲得了1nH的電感，其Q值在10GHz的頻率下達(dá)到了9，電感的自諧振頻率超過(guò)20GHz。
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