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【簡(jiǎn)介】
介紹了利用AZ4620光刻膠制作截面為5μm×5μm微電鍍模的工藝流程，詳細(xì)說(shuō)明了工藝流程中影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的實(shí)驗(yàn)參數(shù)以及實(shí)驗(yàn)參數(shù)的優(yōu)化方法，并用實(shí)驗(yàn)結(jié)果說(shuō)明了應(yīng)該避免的實(shí)驗(yàn)誤區(qū)。最后根據(jù)優(yōu)化后的參數(shù)制作出滿足課題需要的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
