??
【專利號(申請?zhí)?】200820007088.X
【公開(公告)號】CN201190181
【申請人(專利權(quán))】吳明鴻
【申請日期】2008-4-23 0:00:00
【公開(公告)日】2009-2-4 0:00:00
【專利簡介】
一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的多片式活動(dòng)電鍍車臺(tái)，用以供多個(gè)待電鍍基板載設(shè)于上，包括一車架、多個(gè)設(shè)置于該車架上的承載座、一設(shè)置于所述承載座上的電極板單元及一蓋設(shè)于該電極板單元上的絕緣頂蓋。通過將該多片式活動(dòng)電鍍車臺(tái)移出該化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的外部事先進(jìn)行獨(dú)立加熱作業(yè)，而能夠使設(shè)置于該多片式活動(dòng)電鍍車臺(tái)上的電極板單元及所述待電鍍基板得到均勻的受熱，并能改善以往在該化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)內(nèi)加熱時(shí)具有的受熱不均且加熱緩慢的問題，因此而能達(dá)到提高電鍍良率、縮短加熱所需時(shí)間以減少整體作業(yè)成本的功效。
