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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】02137904.1
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1465520
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2002-7-5 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2004-1-7 0:00:00
本發(fā)明低摩擦系數(shù)復(fù)合材料微電子機(jī)械模具制作方法，特征是在常規(guī)LIGA技術(shù)的電鑄工藝前，將含微電子機(jī)械光刻膠圖形的金屬基片放入每升電鍍液中含5-40g低摩擦系數(shù)材料的電鍍液中進(jìn)行電鍍；所述低摩擦系數(shù)材料可選用聚四氟乙烯或/和碳60；所用電鍍液可從現(xiàn)有常規(guī)使用的電鍍液中選擇。本方法工藝簡(jiǎn)單，有效地解決了微電子機(jī)械的潤(rùn)滑和磨損問(wèn)題，是對(duì)LIGA技術(shù)、準(zhǔn)LIGA技術(shù)、激光LIGA技術(shù)制作活動(dòng)微電子機(jī)械的方法的完善和拓展。
