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氟里昂、二氯乙烯已全面禁止使用，IS014000質(zhì)量體系對含氯清洗劑有限制要求，而碳?xì)湎登逑磩┚哂泻芎玫沫h(huán)保性。
(1)脫脂機(jī)理
與二氯甲烷脫脂原理相同。
(2)工作原理
將工件置于密封主槽，并抽真空，在真空狀態(tài)下，工件狹小縫隙內(nèi)氣體及脫脂劑中的氣體被抽出，超聲波和擺動系統(tǒng)工作，脫脂結(jié)束后，釋放真空。根據(jù)工件油污狀況和要求，可以設(shè)計成多槽式。
(3)缺點(diǎn)
①具有可燃性及干燥性，不如二氯甲烷。
②設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，如要求設(shè)備具有真空、防火、防爆、耐壓等性能，因而設(shè)備價格昂貴。
③碳?xì)淙軇﹥r格高。
