銅的其他表面處理法：不同絡(luò)合劑在化學(xué)鍍銅溶液中的特點

(1)酒石酸鹽

    用酒石酸鹽作絡(luò)合劑的溶液穩(wěn)定性較差，不含穩(wěn)定劑時，很容易分解，工作溫度不能高，沉積速度慢，鍍層韌性差，成本較高。

    (2)EDTA

    用EDTA作絡(luò)合劑的溶液穩(wěn)定性好，可在較高溫度下工作，能得到較厚的銅層，鍍層性能好，成本也較高。

    (3)酒石酸鹽和EDTA混合絡(luò)合劑

    這種雙絡(luò)合劑溶液穩(wěn)定性好，鍍層性能好，可得到較厚銅層，成本也比單一的EDTA溶液低。

    (4)含ATMP和HEDP的溶液

    這種溶液穩(wěn)定性能好，工作溫度較低，鍍層韌性好，但沉積速度慢。

    (5)三乙醇胺

    三乙醇胺作絡(luò)合劑可獲得極快的沉積速度，但外觀較為粗糙，色澤發(fā)灰。

    從以上絡(luò)合劑的使用分析來看：EDTA和酒石酸鹽適用于化學(xué)鍍銅，而隨著化學(xué)鍍銅的發(fā)展，選用的絡(luò)合劑也正向混合絡(luò)合劑的方向發(fā)展，如用酒石酸鹽代替部分價格昂貴的EDTA，這種組合的絡(luò)合劑溶液穩(wěn)定性高，也降低了成本，提高了經(jīng)濟效益。

    (6)甘油

    用甘油作絡(luò)合劑的鍍銅溶液，其沉銅速度隨著甘油濃度的增加而有所減少，沉銅的速度與pH值的關(guān)系和酒石酸鹽溶液相反，是隨著pH值的增加而降低的。這是因為：在甘油鍍液中，pH值高時，表面很容易鈍化，當(dāng)pH值=l3．3時，由于鍍件表面鈍化，能使沉銅過程中斷，這種現(xiàn)象可能是絡(luò)合劑本身將Cu²⁺還原成Cu₂0所導(dǎo)致。

    (7)ATMP

以ATMP作二價銅的絡(luò)合劑的鍍液，其沉銅速度與AT—MP／Cu²⁺的比值有關(guān)，當(dāng)比值為(2～3)：1時，沉銅速度穩(wěn)定，當(dāng)比值大于(2～3)：1時，沉銅速度就會下降。