鉬、鎢及其合金浸蝕前先要機械方法清除氧化皮，然后用堿脫脂劑進行脫脂，最后進行浸蝕。
鉬及鎢的化學浸蝕方法一般采用氫氟酸(含量在5％。7％)于室溫下浸漬l～2min。也可以選用電解(陽極)浸蝕方法，例如在16g／L的磷酸溶液中，溫度40～50℃，陽極電解10min(電流密度0．07 A／dm2，陰極采用鋁板)。
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