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1) 反應(yīng)需要揮發(fā)性化合物，不適用于一般可電鍍的金屬，因其缺少適合的反應(yīng)物，例如：錫、鉛、鋅、金。
2) 需可形成穩(wěn)定固體化合物的化學(xué)反應(yīng)。如：硼化物、碳化物、氮化物、氧化物及硅化物等。
3) 因?yàn)橛袆《疚镔|(zhì)的釋放，腐蝕性的廢氣及沉積反應(yīng)需適當(dāng)控制，故需要一個(gè)封閉系統(tǒng)。
4) 需要高能量-可能造成基材變形，(可藉由PACVD制程來(lái)改善)。
5) 某些反應(yīng)物價(jià)格昂貴。
6) 反應(yīng)物的使用率低-制程中，反應(yīng)常受到沉積反應(yīng)平衡常數(shù)的限制。
