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公司基本資料信息
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機(jī)型\項(xiàng)目 TG5 TG6-9 鍍膜室規(guī)格 ?700mm -800mm *800mm -880mm ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm 極限真空度 ≤7.6×10-4Pa 冷態(tài)抽真空時(shí)間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 機(jī)組配置 KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 或KT-500擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-600擴(kuò)散泵機(jī)組 靶配置 5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶 6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶 2個(gè)大面積弧靶2對(duì)孿生靶 配電要求 40KW 50KW 60KW 備注 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備
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